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NANOTECH

Best Product & Reliable Service

Products
为实现高质量高效率生产,我们为您提供多种诊断制造工艺的解决方案
SPOES
(Self-Plasma OES)
· 实时监测泄露情况
· CVD, ALD, Etch, diffusion, All TM
OES.EPD
(Sensor head)
· Endpoint detection, 等离子体光谱分析
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip, PECVD
OES.EPD
(Local Controller)
· Endpoint detection, 等离子体光谱分析
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip, PECVD
Signle F-EPD
· Endpoint detection
· PR/ACL strip
Dual F-EPD
· Endpoint detection
· PR/ACL strip
Targeted GD
· Targeted gas detection
· CVD, ALD, Etch
Plasma monitor
(Single sensor type)
· Arc detection, pulsed plasma property
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip
Plasma Monitor
(1D sensor type)
· Intensity distribution
· Etch, plasma treatment, PR/ACL strip
NANOTECH
Global Leader in Optical Solutons
(株)NANOTECH公司利用光学技术、等离子体诊断等技术,
开发了一系列传感探测设备,是一家以技术为核心的技术型风险企业,
生产的工艺诊断传感探测设备热销往国内外半导体/面板量产企业,用于量产制造工艺状态的诊断。
Our Technology
光学技术
Optical Technology
通过光源光学设计与技术、光传导高效化技术、
韩国超高水平的光谱分析技术,
为您提供更优质更完美的服务。
等离子体控制•分析技术
Plasma Control/Analysis Technology
拥有等离子体放电条件优化技术、
真空设备设计技术、信号处理和控制设计技术、
软件设计与开发技术等一系列可以实现产品一体化的技术。
商用化与服务实力
Service Ability
可根据客户具体使用环境实现客户定制,拥有丰富的设计与制造经验,以专业的技术支持与强大的数据分析能力,
为您提供最高水平的服务。
确认
About
company
(株)NANOTECH公司于1993年设立了ALTECH,
主要用于开发激光光学、光电子学领域新技术,1998年成立法人后,
逐渐发展为以光电传感器领域技术为中心的专业技术型企业。