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제품
Targeted GD
(Gas Detector)
소형 plasma module을 내장하여 반도체/디스플레이 제조 설비의
배기 라인으로 배출되는 특정 gas를 검출하는 센서
배기 라인으로 배출되는 특정 gas를 검출하는 센서
CVD, ALD, Etch
오염 내구성이 강하여 장기간 PM 없이 사용 가능
실시간 leak 검출
사용 gas 및 검출 gas 간 spectrum 간섭이 적은 제한적 사용 가능
Specifications
| Starting pressure of discharge | 5mT~5Torr |
| Sensor | Single PD |
| Target wavelength | Dependent on targeted gas |
| Optical resolution | 10nm(FWHM) |
| Optical window | Sapphire |
| Plasma source power | Max. 30W |
| Power requirement | 2.0A/24VDC |
| Signal output | 0~10VDC analog |
| Integration time | Continuous |
| Vacuum interface | NW25 (Reducer available) |
Model
Detector
| Model | Description | |
| OPTI-T3 |
|
IGS outer leak detection in ALD process Targeted N2 contained in atmosphere |
Concept
Application
In-situ leak detection
반도체/디스플레이 제조 공정 챔버의 leak를 실시간으로
검출 가능하여 대형 사고를 미연에 방지 ALD IGS outer leak 검출 가능 Yield 및 throughput 개선
검출 가능하여 대형 사고를 미연에 방지 ALD IGS outer leak 검출 가능 Yield 및 throughput 개선
