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제품
Targeted GD
(Gas Detector)
소형 plasma module을 내장하여 반도체/디스플레이 제조 설비의
배기 라인으로 배출되는 특정 gas를 검출하는 센서
CVD, ALD, Etch
오염 내구성이 강하여 장기간 PM 없이 사용 가능
실시간 leak 검출
사용 gas 및 검출 gas 간 spectrum 간섭이 적은 제한적 사용 가능
Specifications
Starting pressure of discharge 5mT~5Torr
Sensor Single PD
Target wavelength Dependent on targeted gas
Optical resolution 10nm(FWHM)
Optical window Sapphire
Plasma source power Max. 30W
Power requirement 2.0A/24VDC
Signal output 0~10VDC analog
Integration time Continuous
Vacuum interface NW25 (Reducer available)
Model
Detector
Model Description
OPTI-T3 IGS outer leak detection in ALD process
Targeted N2 contained in atmosphere
Concept
Application
In-situ leak detection
반도체/디스플레이 제조 공정 챔버의 leak를 실시간으로
검출 가능하여 대형 사고를 미연에 방지
ALD IGS outer leak 검출 가능
Yield 및 throughput 개선