바로가기 메뉴


EPD/OES

HOME > PRODUCTS > EPD/OES

CCD Type EPD Filter Type EPD
제품이미지 제품명 자세히보기
OPTI Series
반도체/디스플레이 제조 공정 챔버 내부의 Plasma를 분광 분석법으로 분석하여 공정의 종료점을 자동 검출하거나 공정의 변화 상태를 모니터링하는 센서
NEFL Series
Filter type EPD detects variation of specific light distributed by the band-pass filter.
1