바로가기 메뉴


Detector

HOME > PRODUCTS > Detector

AEGIS-7W
소형 Plasma Module을 내장하여 반도체/디스플레이 제조 설비의 배기 라인으로 배출되는 Gas를 분석함으로써 공정 변화 상태를 모니터링하는 센서
 

Features

국내 시장 점유율 1위 및 풍부한 해외 납입 실적

다양한 공정 적용 경험 및 노하우         

내구성 향상을 위한 다양한 기술 보유

안정적인 시스템 구조 및 데이터 처리 방식

 

Benefits                          

모든 제품들에 대한 S/W, H/W 자체 기술 보유
고객이 원하는 지속적인 application upgrade
고객 VOC에 맞는 H/W, S/W customization 가능

 

Sensing mechanism


   

Specification

RF discharging power 30W

Pressure range of discharging

5mT~9Torr

CCD sensor 

2048 pixels / 16bits

Spectral range

200~850nm 

Optical resolution

<0.95nm

Integration time

min. 7ms 

Oprating system 

WES10 2019LTSC(64bit) 

Operating software

AOS(AEGIS Operating Software)

Analysis software AOS-AM(AOS Analysis Module)

Communication

Ethernet 

Protocol

HSMS, TIBCO, SCP, Customizing available 

Electric requirement

12VDC/3.5A

Mechanic

NW25 vacuum foreline

 

Application         

Leak detection