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Plasma Monitor

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CALI-TT
Pulsed Plasma를 사용하는 Etching, Deposition 등의 공정에서
실제 Pulse 파형이 정확히 유지되고 있는가를 실시간 Monitoring
하는 광학 센서(Chamber-to-Chamber Comparison)
 

ºSingle PD, 16bit

ºSampling period : 1~2us

ºSpectral range : 400~1100nm

ºViewing angle : 72º

º Tolerance between sensors : <±3%

º Self calibration function

ºS/W : NanoPAM

º12VDC input, TCP/IP output