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연구과제 수행성과

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실시간 진단용 고기능 핵심 모듈 및 시스템
사업명 전략기술개발사업
주관부처 지식경제부
기간 2008~2011 역할 참여기업
- CVD 공정 수율 향상 및 최적화 기여
- ALD, Etch, Diffusion 등 다양한 공정 적용 확산
- 수입 대체 효과 및 해외 장비 제조 업체 수출


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