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연구과제 수행성과

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초소형 Plasma Module
사업명 첨단장비활용기술개발사업
주관부처 중소기업청
기간 2008~2010 역할 주관기관
- 오염 억제 능력이 뛰어난 Detector 기술 개발 선점
- 반도체 및 FPD 제조 공정에 다양한 확대 적용 가능
- 반도체 생산 공정 관련 측정 장비의 부품 국산화율 향상


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