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연구과제 수행성과

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다층 다종 Etch 공정 DFT-EPD 개발
사업명 (산학연기술개발사업)
주관부처 중소기업산학협력센터
기간 2015~2016 역할 참여기업

- 저산화 ashing 공정 적용

- EPD, Leak detection 활용가능성 확인

- 지식재산권 출원


본 연구과제와 관련하여 궁금하신 점이 있으시면 nanotek@nanotek.com 으로 연락 주시면 감사하겠습니다.